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3D白色干渉顕微鏡による三次元表面性状測定とその応用

近年の微細加工における精度の向上は目覚ましく,加工部品の表面に仕上げ加工を施し,機能性を付すことで付加価値を高めるプロセスが広く実用化されている。例えば表面加工によって摩擦を低減,または付加することで部品同士の動力伝達を […]
阪大ら,SiC接合材の自己修復現象を発見

阪大ら,SiC接合材の自己修復現象を発見

エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)のプロジェクトにおいて,大阪大学とデンソーは,SiC(シリコンカーバイド)パワー半導体の長期信頼性向上が期待できる接合材の自己修復現象を発見した(ニュースリリース)。 電力変換 […]