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3D白色干渉顕微鏡による三次元表面性状測定とその応用

近年の微細加工における精度の向上は目覚ましく,加工部品の表面に仕上げ加工を施し,機能性を付すことで付加価値を高めるプロセスが広く実用化されている。例えば表面加工によって摩擦を低減,または付加することで部品同士の動力伝達を […]
NIMS,輝度100倍の電子源を開発

NIMS,輝度100倍の電子源を開発

物質・材料研究機構(NIMS)は,電子顕微鏡などの電子源として期待されているランタンホウ化物(LaB6)単結晶ナノワイヤの表面を原子レベルでクリーニングする技術を開発し,電子源の高性能化と安定性の向上に成功した。 さらに […]