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3D白色干渉顕微鏡による三次元表面性状測定とその応用

近年の微細加工における精度の向上は目覚ましく,加工部品の表面に仕上げ加工を施し,機能性を付すことで付加価値を高めるプロセスが広く実用化されている。例えば表面加工によって摩擦を低減,または付加することで部品同士の動力伝達を […]
阪大ら,テラヘルツによる半導体評価法を開発

阪大ら,テラヘルツによる半導体評価法を開発

大阪大学とSCREENホールディングスは共同で,レーザー照射によって発生するテラヘルツ波を計測し可視化するレーザーテラヘルツエミッション顕微鏡(LTEM)により,窒化ガリウム(以下GaN)の表面に存在する欠陥濃度の変化を […]