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レーザーとイメージング技術で隠れた障害物を可視化 – 「非視線方向イメージング」

通常のイメージングアプリケーションでは,カメラ(もしくはディテクター)と撮像対象の物体は直線上に配置する必要がある。しかしながら,最先端の研究によって,コーナーの先や障害物の背後にある物体を画像化する「非視線方向イメージ […]
ギガフォトン,450mmウェハ・マルチパターニング露光装置対応,ArFエキシマレーザ「GT64A」を出荷

ギガフォトン,450mmウェハ・マルチパターニング露光装置対応,ArFエキシマレーザ「GT64A」を出荷

ギガフォトンは,同社の450mmウェハ・マルチパターニング対応液浸露光装置向けArFエキシマレーザ「GT64A」の初号機を露光機メーカへ出荷したと発表した。 世界最高レベルのレーザ発振効率をベースに,450mmウェハ・マ […]