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3D白色干渉顕微鏡による三次元表面性状測定とその応用

近年の微細加工における精度の向上は目覚ましく,加工部品の表面に仕上げ加工を施し,機能性を付すことで付加価値を高めるプロセスが広く実用化されている。例えば表面加工によって摩擦を低減,または付加することで部品同士の動力伝達を […]

東工大ら,微細化でシリコンIGBTを高効率化

東京工業大学と東京大学,九州工業大学,明治大学,産業技術総合研究所,東芝,三菱電機らは,シリコンによる電力制御用の絶縁ゲート形バイポーラトランジスタ(IGBT)をスケーリング(微細化)することで,コレクタ-エミッタ間飽和 […]