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3D白色干渉顕微鏡による三次元表面性状測定とその応用

近年の微細加工における精度の向上は目覚ましく,加工部品の表面に仕上げ加工を施し,機能性を付すことで付加価値を高めるプロセスが広く実用化されている。例えば表面加工によって摩擦を低減,または付加することで部品同士の動力伝達を […]

理研,低速多価イオンビームをΦ750nmで供給

理化学研究所(理研)の共同研究グループは,標的物質に化学的活性を与える能力の高い低速多価イオンビームを,生物実験などで用いられるガラス製注射針(ガラスキャピラリー)に通し,750nmの太さのビームとして安定に供給する技術 […]