科学・技術

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3D白色干渉顕微鏡による三次元表面性状測定とその応用

近年の微細加工における精度の向上は目覚ましく,加工部品の表面に仕上げ加工を施し,機能性を付すことで付加価値を高めるプロセスが広く実用化されている。例えば表面加工によって摩擦を低減,または付加することで部品同士の動力伝達を […]

東北大ら,近接容量イメージセンサーを開発

東北大学と非接触検査装置のオー・エイチ・ティーは共同で,フラットパネル・電子回路基板の検査や生細胞のイメージング等に期待される,微小な容量分布を2次元で高精細に動画撮影が行なえる近接容量イメージセンサーを開発した(ニュー […]