ニコン,重ね合わせ精度を向上させたArF液浸スキャナ「NSR-S622D」を発売

ニコンは,ArF液浸スキャナ「NSR-S622D」の販売を開始した。この露光装置は,ストリームラインプラットフォームを採用した「NSR-S621D」の精度をさらに向上させ,20nm以下のプロセス量産用(マルチプルパターニング適応)に開発された装置。特にマルチプルパターニングプロセスにおいて重要となる MMO(Mix and Match Overlay:装置間重ね合わせ精度)を大きく向上させた。

無題

主な性能

解像度  38nm以下
NA(開口数)  1.35
光源  ArFエキシマレーザー(波長:193nm)
縮小倍率  1/4倍
最大露光領域  26x33mm
重ね合わせ精度(M+3σ)  2nm以下
重ね合わせ精度(M+3σ)  3.5nm以下
スループット(300mmウェハ毎時)125shots  200枚以上

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