浜松ホトニクス,基材の両面同時測定が可能な膜厚計を発売

浜松ホトニクスは,業界で初めて両面の膜厚測定を実現した膜厚計の新製品Optical NanoGauge(オプティカル・ナノゲージ)「C12562」を,10月10日から膜厚測定などの用途に向けて,国内,東アジア市場を中心に,フィルム、FPD,半導体の塗布,薄膜成膜などの製造装置や検査メーカなどに発売する。価格は399万円(本体,ソフトウェア,周辺機器含む)。

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この製品は,分光干渉法を用いた非接触の膜厚測定装置で,業界で初めて独自の解析アルゴリズムを開発し,基材の両面の膜厚を同時に測定することや,フィルムなどが生産ライン上で微動する高さや角度の変動にも対応を可能にした。また,最速100Hzと同社製従来品の約10倍の高速測定が可能で,インラインでのタクトタイムを短縮する。さらに,対話形式の使いやすいソフトウェアを新たに開発。同社は,膜厚計メーカで唯一,固体事業部で検出素子のCCDを製造販売しているため,機器のトータル設計を最適化している。

また,この製品は,同社の膜厚計Optical Gaugeシリーズの性能をそのままに,光源,分光器,データ解析部を一体化させ,本体とファイバのみのコンパクトな構成で,関連装置への組み込みを前提に,小型・省スペースに設計されている。また,リファレンスフリーなため,手間のかかる参照計測の必要がなく,高速・高精度な測定を長時間安定的に行なうことが可能。この製品は,膜厚測定以外にも,反射率・透過率とスペクトルなどの光学測定にも有用。

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