ニコン,G450Cに450mm対応ArF液浸スキャナを納入

ニコンは,G450C(Global 450 Consortium)のマイルストーンに基づき,米国SUNY Polytechnic Institute’s Colleges of Nanoscale Science and Engineering(SUNY Poly CNSE)へ納入した450mmウェハ対応ArF液浸スキャナ「NSR-S650D」で,間もなくパターニング(実機での露光作業)を開始する(ニュースリリース)。

G450Cは,ニューヨーク州とニューヨーク州立大学および半導体メーカが参加する,450mmウェーハの産業界への移転を行なう官民の研究開発共同プログラム。

2013年7月,同社はResearch Foundation for the State University of New York(ニューヨーク州立大学の研究財団,SUNY研究財団)との間で,450mmウェハ対応ArF液浸スキャナ(NSR-S650D)の契約と受注をした。この契約スケジュールに基づき,2015年春に装置を出荷,パターニングを開始する。

関連記事「ギガフォトン,450mmリソグラフィプロセス向けArF液浸レーザを「G450C」に納入」「ニコン,Global 450 Consortiumから450mmウェハ対応液浸露光装置を受注