ナノフォトンは，半導体分野向け新製品ウエハーアナライザー「RAMANdrive」を発売する。

この製品は，独自のラマンイメージング機能により，半導体材料中の応力や結晶多形，欠陥などの分布をサブミクロンの空間分解能で非破壊分析し，その分布を３次元で可視化することができる。

独自の300mmウエハーステージを搭載することで，最大300mmの大型ウエハーをそのままステージに載せ，分析することが可能。

新搭載のステージナビゲーションシステムは，ユーザー所有の異物・欠陥検査装置で取得した座標データを読み込み，分析対象のある座標へステージを電動で動かすので，サンプルの捜索に時間を割くことなく，分析業務に集中できる。

高品質な暗視野観察機能により，100nm以下の微小異物も明瞭に観察することができる。高分解能なラマン分光分析により，微小異物のラマンスペクトルを検出し，成分を同定する。

また，優れた共焦点（コンフォーカル）光学系を備えており，高性能な３次元ラマンイメージング分析が可能。半導体ウエハー中の応力や結晶多形の分布を，サブミクロンの空間分解能で明瞭に３次元で可視化することができる。

同社ではこの製品を，2016年8月7日から12日まで名古屋で開催されている第18回結晶成長国際会議（ICCGE-18）にて紹介する。