ギガフォトン,アニール向けKrFエキシマレーザーを開発

ギガフォトンは,半導体リソグラフィ用エキシマレーザーを応用した,アニール向け新型KrFエキシマレーザーの開発に成功し,11月にはパネルメーカーの量産ラインにて評価を開始したと発表した(ニュースリリース)。

これは,新ブランド「GIGANEX」シリーズの一環となるもので,同社が創業以来培ったKrF技術を活かした製品。

このKrFエキシマレーザーは600Wの高出力仕様であり,大型パネルの高画質化への需要が高まる国内外のパネルメーカーからアニール用光源として大きな期待を寄せられているという。同社は,このKrFエキシマレーザーの量産機を2017年夏に出荷することを目指している。

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