ギガフォトン,アニール向けKrFエキシマレーザーを開発

ギガフォトンは,半導体リソグラフィ用エキシマレーザーを応用した,アニール向け新型KrFエキシマレーザーの開発に成功し,11月にはパネルメーカーの量産ラインにて評価を開始したと発表した(ニュースリリース)。

これは,新ブランド「GIGANEX」シリーズの一環となるもので,同社が創業以来培ったKrF技術を活かした製品。

このKrFエキシマレーザーは600Wの高出力仕様であり,大型パネルの高画質化への需要が高まる国内外のパネルメーカーからアニール用光源として大きな期待を寄せられているという。同社は,このKrFエキシマレーザーの量産機を2017年夏に出荷することを目指している。

その他関連ニュース

  • 理研,X線光渦で回折限界以下の微細構造を形成 2018年04月19日
  • NEDO,OPIEで3Dプリンターなどレーザー加工装置をデモ 2018年03月28日
  • ローランド子会社,レーザー箔押し装置を発売
    ローランド子会社,レーザー箔押し装置を発売 2018年03月16日
  • パナと東京精密,プラズマダイシング向けレーザーパターニング装置発売 2018年03月13日
  • 慶大ら,複合レーザープロセスで鋼材を超平滑化 2018年03月12日
  • 産総研,風圧分布計測フィルムをレーザー加工で開発 2018年02月07日
  • 日板の貫通穴加工,専用ガラス基板を使用 2018年01月19日
  • 古河グループ,溶接欠陥が少ない純銅のレーザー技術を開発 2017年12月22日