SCREEN,仏研究機関にレーザーアニール装置を納入


SCREENセミコンダクターソリューションズと仏CEA Techの研究機関である電子情報技術研究所(Leti)は,ナノ秒単位で処理を行うSCREENのUVレーザーアニール装置「LT-3100」をLetiの拠点に導入し,両者の協力関係をさらに強化することに合意した(ニュースリリース)。

LT-3100は,SCREENのグループ会社でフランスに拠点を置くLaser Systems and Solutions of Europe SASU(LASSE)が製造開発を行なっている。

Letiは,SOIや3次元ICのCoolCube,ナノワイヤーなどの技術開発において,新しい特性を持った素材や,最小限のサーマルインパクトでの超薄膜改質などの開発を行なっている。LT-3100を活用することによって,技術的な突破口となるソリューションが実現し,いずれは実用化できる開発につながることに期待するとしている。

このレーザーアニール装置は,2017年の上半期に本格稼働する予定で,さまざまなウエハーサイズをサポートすることで,Letiの各ラボで求められる異なるニーズに対応する。

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