ギガフォトン,エキシマレーザーをSK hynixに納入

ギガフォトンは,韓国のメモリーチップメーカーSK hynix社に向けて,旧機種からのアップグレード用として,最新のリソグラフィ装置用エキシマレーザーを出荷したと発表した(ニュースリリース)。

半導体需要が世界的に高まる中,生産性のさらなる向上はチップメーカーにとって必要不可欠となる。しかしながら15年程度経過した旧型レーザーでは運転コストやメンテナンスによるダウンタイム頻度が高く,期待される生産性が得られないため,これらを改善して生産性を上げることが喫緊の課題となっていた。

入れ替える最新機種のエキシマレーザーは最新のモジュール及びソフトウェアを搭載しているため,モジュール寿命や信頼性が旧機種に比べて大きく向上している。そのため,既存のリソグラフィ装置に結合されている旧機種レーザーと入れ替えることにより,リソグラフィ装置の生産性が向上すると同時に,運転コストやダウンタイムも大幅に削減するという。

加えてこのアップグレードに伴いCIP(Continuous Improvement Program)も提供されるため、将来のサービスサポートに対する不安も解消されます。また今回のケースでは、アップグレードに費やす時間が最短になるよう配慮されており、SK hynix社工場内での入替えが可能となっています。

ギガフォトン代表取締役社長の浦中克己はこうコメントしています。「当社が提案するレーザーのアップグレードは、既存生産ラインの生産性向上に大いに有効なものです。ギガフォトンは今後もお客様の目線に立ち、お客様と半導体業界に貢献できる提案をしていきます。」

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