ギガフォトン,露光装置のモニタリングプラットフォームを提供

ギガフォトンは,半導体露光装置の稼働モニタリングと解析を行なうオープン・プラットフォーム「FABSCAPE™」を3月より提供すると発表した(ニュースリリース)。

多くの半導体メーカーにとって,様々な装置から出力される大量のデータを収集し,解析,活用することは困難な作業であり,かねてより懸案事項だった。このプラットフォームは,メーカーを問わず一律にデータを扱うことを可能にする目的で開発されたオープン・プラットフォーム。

プラグインやドライバーを拡張させることにより,すべての装置のデータを統一化することも可能となり,ユーザーは同一条件でより広範囲に,異なる装置間の重要なパフォーマンス・データの解析と評価ができるようになる。

また,ユーザーが様々な機能のプラグインやドライバーを開発し組み合わせることで,アプリケーションをそれぞれのニーズに合わせて最適化することが可能。今後,ビジュアライザーツールのほか,リソグラフィ装置組(リソセル)単位で自動的にメンテナンススケジュールを最適化するプラグイン,AIエンジンを活用した自動化用プラグインも提供する予定。

同社は,データ統一化のソリューションをともに開発する半導体メーカーや装置メーカー,その他の機関に対してこのプラットフォームをオンラインで提供する予定。更に,APIやサンプルコード,チュートリアル,ワークショップなど豊富な開発者向けツールを提供し,FABSCAPE™プラットフォームの普及を促進していく。

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