世界初!光学素子評価用,全自動分光光度計

Photon RT

東京インスツルメンツは,ベラルーシの光測定器メーカー EssentOptics社の光学素子の検査に特化した分光光度計「PHOTON RT」および「LINZA 150」の取扱を開始した。

このうち「PHOTON RT」は,成膜加工企業や光学部品メーカーが必要とする光学部品の絶対反射率測定や透過率測定を,自動で行なうことを可能にした分光光度計。紫外~可視~中赤外をカバーする,185~5200nmという波長範囲を実現しており,これまでフーリエ変換赤外分光光度計(FTIR)で測定していた最近注目のMWIR(中波長赤外線)領域も高精度に測定できる。

MWIRバンドパスフィルター

従来の分光計では測定できなかった絶対反射率の自動測定機能も搭載。この絶対反射率と透過率の自動測定では,光学素子と検出器の角度を0.01度刻みで制御し,複数入射角で連続測定する。このとき,入射角ごとにベースラインの再測定を行なう必要は無い。測定角度範囲は,透過率が0~75度,反射率が8~75度となっている。

ダブルビーム方式を採用しており,長時間安定した測定(0.1%/時)が可能。波長掃引時間は3000nm/分(5nm間隔)。波長校正用水銀ランプを搭載しているので,波長校正も簡単に行なえる。透過ビーム位置のずれをスライドさせることで,斜入射による透過ビームの位置ずれを補正する機能を搭載。透過率測測定の安定・正確な測定を可能にしている。

632.8nm用ミラーの透過率

偏光測定では,PおよびS偏光の透過率と絶対反射率の測定が可能。広帯域偏光子が搭載されているので,広い波長範囲(220nm以上)での測定ができる。また,付属のソフトウェアを使用することで,単層コーティングの複素屈折率の計算もできる。各測定データは,ExcelやPDFなど多様なフォーマットでレポート出力ができる。

LINZA 150

このように多機能を1台に凝縮した「PHOTON RT」だが,扱いは容易で従来の分光器光度計のように反射率と透過率の測定ごとにアクセサリーを交換する必要はない。自動入射角度制御機能によって,反射率と透過率を続けて計測できる。標準で平板素子用汎用フォルダーおよび1インチおよびハーフインチPBS用フォルダーが付属。それ以外のサイズのPBSやプリズム用フォルダーも提供可能。こうした自動化により,人為ミスの無い品質管理を実現する。

また,光学レンズ用分光光度計「LINZA 150」は,レンズの透過率・反射率を同じく全自動測定する世界初の検査装置。透過率測定は1枚もののレンズから,14群19枚といったレンズやアセンブリーまで光軸上の透過率を測定できる。また,レンズ表面の反射率分布測定は光軸上だけではなく軸外も自動測定でき,簡単にコーティングの不均一性評価が可能となっている。

光軸上のレンズ透過率(13群17枚/14群19枚)
サンプル

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