名工大,SiCの電気特性をレーザーで非破壊検査

名古屋工業大学はSiC結晶を壊すことなく,内部の電気特性を測る手法を世界で初めて開発した(ニュースリリース)。

大電力の電圧変換に用いられるパワーデバイスとして,シリコンカーバイド(SiC)の採用が期待されている。大きな電力を制御するパワーデバイスを作るには,SiC結晶内部に均一に電気を流す特性を持たせなければならない。すでにSiC結晶によるパワーデバイスは次世代の新幹線などに採用されるなど,一部の分野で実用化が始まっており,大幅な消費電力の削減が報告されている。

しかしながら発電所から送電される電力など,さらに大きな電力の電圧変換するパワーデバイスを作るには,SiC結晶内部に均一に電気を流す特性を持たせなければならない。これまでその電気特性を測定するには,結晶を壊しながら行なう方法しかなかった。

今回研究グループは,励起光とプローブ光,2種類のレーザー光をマイクロメートルの大きさにして,SiC結晶に対して斜めに照射することにより,SiC結晶内部の電気特性を測る手法を世界で初めて開発した。この手法はSiC結晶を作った後,壊さずに電気特性の均一さを調べることに成功した。

研究グループは今回の研究により,今後SiCによる大電力パワーデバイスの開発を加速することができ,電力変換における消費電力の削減が期待できるとしている。

新着記事

  • 福岡大,スピン波を電気のみで観測 2019年04月25日
  • Basler,新たな照明ソリューションを発表 2019年04月25日
  • 明電舎,スラム誘導形無人搬送車を初納入 2019年04月25日
  • 東北大ら,三角格子反強磁性体の新量子相を発見 2019年04月25日
  • 【OPIE’19】巨大望遠鏡向け光学技術が結集
    【OPIE’19】巨大望遠鏡向け光学技術が結集 2019年04月24日
  • 東大,三次元ナノ構造体の新設計法を発見 2019年04月24日
  • 産総研ら,99.5%以上の光を吸収するシートを開発 2019年04月24日
  • 岐阜大,CO2ガスで自己修復するポリマーを開発 2019年04月24日