santec,高出力レーザー向けLCOS型空間光変調器を開発

santecは,LCOS型空間光変調器「SLM-300」を開発した(ニュースリリース)。

同社従来比100倍の200Wクラスの高出力レーザーに利用できるLCOS型空間光変調器で,水冷ヒートシンクを備えたLCOSヘッドを採用しており,波長は532nm,800nm,1064nmの3波長に対応する。これによりレーザー加工,3Dプリンター,IC用レーザートリミングなど主だった波長帯の高出力レーザーを用いた加工が可能になる。

従来は高出力レーザー照射に伴う高温により,液晶材料が相転移温度を超えて動作不良したり,反射アルミ膜の破壊のため,高出力レーザーへの利用が制限されていた。

今回,高温動作に優れた新型液晶材料や,高出力レーザー耐性の優れた誘電体多層膜ミラー,水冷ヒートシンクの導入により,世界最高レベルとする200Wクラスの高出力レーザーへの利用が実現した。同製品の販売開始は2019年4月を予定。販売価格は350万円(参考価格・税抜)。

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