ギガフォトン,出力最大クラスのKrFレーザーを発売

ギガフォトンは,2019年3月より世界最大出力クラスのKrFレーザー「G45K」の出荷を開始した(ニュースリリース)。

近年のIoTやAIの普及に伴い,世界中の情報データ量はここ数年で10倍になったといわれている。

それに対応するため,チップメーカーは高集積な最先端メモリチップの生産性向上に取り組んでいる。リソグラフィ工程においては,光源となるKrFレーザーの出力パワーが生産性向上に直接的に寄与するため,その高出力化の実現が期待されていた。

この製品は,従来機種より25%以上高めた50Wの出力パワーを実現し,最先端メモリチップが生産をより高効率にする。また,装置内の主要モジュールの寿命を20%延長し,メンテナンスのためのダウンタイムを大幅に低減し,生産性向上に寄与するという。

同社のグリーンテクノロジーは,従来機種同様,「ヘリウムフリー」は標準搭載,「hTGM(ネオンガスリサイクルシステム)」は対応可能となり,オペレーションコスト削減にも効果的とする。同社はこの製品が,最先端メモリチップのさらなる生産効率化に貢献するとしている。

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