日本レーザー,新型3D測定顕微鏡を発売

日本レーザーは,スペインSensofar Metrologyの光学式形状測定装置「S neox」の第5世代となる新型モデルを発売した(ニュースリリース)。価格は約1,500万円(税抜)。

「S neox」は,レーザー顕微鏡の基本原理である共焦点法に加え,光干渉法,焦点移動法を1台に搭載した3-in-1が特長の高速3D形状測定装置。新型モデルは従来の5倍もの高速化を実現している。

研究開発や品質管理試験室に求められる高い柔軟性,安定性,耐久性を兼ね備え,その使いやすいインターフェースにより,品質管理環境での24時間連続稼働の活用が可能。初年度10台を目標として販売していくという。

主な用途は以下の通り。
・粗さ計測(機械仕上げ面,電極表面等)
・透明なフィルムやコーティングの膜厚計測
・PCB回路パターン
・機械工具の刃先形状計測
・高速測定を活かした品質検査
・レーザーテクスチャリング

主な新機能は以下の通り。
・高速化(従来比:5倍)
・新方式(アクティブ照明焦点移動法)およびHDR(ハイダイナミックレンジ)アルゴリズムの採用により,鏡面や透明体の滑らかな表面の計測が可能に
・薄膜計測モード:透明膜の膜厚(50nm~1.5μm)を1秒以内で測定。迅速,正確,非破壊
・高解像度5Mピクセルカメラ(従来比:約4倍)とスマートノイズ検出アルゴリズムにより,画質が格段に向上
・微分干渉観察(DIC)機能:ナノメートル台の段差も明確に観察

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