ウシオ,投影露光装置の生産能力を増強

ウシオ電機は最先端ICパッケージ基板,フレキシブル基板の新たな需要増に対応するため,分割投影露光装置(UX-5シリーズ)及びロール搬送投影露光装置(UFXシリーズ)の生産能力増強の設備投資を決定した(ニュースリリース)。

今後,IoTの進展に伴い,大容量かつ高速でのデータ処理に対応したデータセンター向けサーバーの需要増加が見込まれている。一方,スマートフォンをはじめとするディスプレーの分野では,OLEDの採用や狭額縁化がすすみ,COFと呼ばれるフレキシブル基板の需要が増加している。 いずれも,採用される基板には高い解像性や重ね合せ精度が求められる。

同社はそれらの要求を高い生産性で実現する露光装置を増産することで,IoTの進展による豊かな社会づくりに貢献するとしている。

設備投資の概要(予定)は下記の通り。
(1)投資内容 : 露光装置の製造設備導入及び生産スペースの拡張
(2)設置場所 : 御殿場事業所(静岡県御殿場市)
(3)増産計画 : 既に順次生産能力を増強しており,2019年後半より従来比2倍以上とする

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