後付け可能!東京インスツルメンツのアクティブ/パッシブ除振台

東京インスツルメンツは,イスラエル K&S Adcvanced Systems製のアクティブ/パッシブ除振台を取り扱っている。

このうちアクティブ除振台「ARIS」シリーズは,既存のSEM,TEM,SPMといった顕微鏡や半導体製造装置のような大型設備に後付けで設置できるモジュラータイプの「Aris MD」と,AFMやレーザー顕微鏡などの精密機器の設置に適したテーブルトップタイプ「Aris TT」をラインナップする。

独自開発のダンパー構造とリニアモータータイプの6軸アクティブ制御が,ピエゾアクチュエータよりも長ストロークの振動を吸収する。内蔵オシロスコープやスペクトルアナライザでモニタリングするアクティブな調整機能は,低振動周波数(除振範囲0.5~100Hz)にも対応するだけでなく,振動状況をリアルタイムでモニタリングしながら,カスタム調整を行なうことも可能。

 

 

一方,特殊ダンパーを用いたパッシブ除振台「Soto」シリーズは,小型,軽量,低価格ながら高い除振性能を持つ。テーブルトップタイプの「Soto TT」シリーズは光学顕微鏡の除振だけでなく,真空ポンプやコンプレッサー等の振動発生源の下に設置することで他の機器に振動を防ぐ。

また,モジュール型の「Soto MD」シリーズは大型装置の下に差し込んで除振を行なう他,空気ばね付定盤の空気ばねの代わりに差し込むことで,ぐらつきの非常に少ない除振機能付定盤にするという使い方もできる。

 

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