ウシオ,VUVアライナーのエントリーモデルを発売

ウシオ電機は,同社が開発した真空紫外光による親水化パターニング方式アライナー「VUVアライナー(SUS740)」のエントリーモデル「VUVエクスポージャー(SUS971)」の販売を7月より開始する(ニュースリリース)。

ウェアラブルセンサーや有機TFTデバイス,バイオデバイスをはじめとした新規フレキシブルデバイスの創出においては,フォトマスクやパターンの欠陥検査,マスク洗浄,エッチングやレジスト剥離といった煩雑な工程や薬液処理負担を極力排した低環境負荷かつ低コストでの微細加工技術が求められている。

これに対し,2014年に製品化した「VUVアライナー(SUS740)」は,親水化パターニング方式により基板と非接触でリソグラフィーと同等の微細配線が実現できることが評価され,またマスクアライメント機能も搭載していることから,親水化パターニング試験のみならず積層デバイス試作までが行なえるアライナーとして販売されてきた。

その中で,より手軽に導入・活用できるモデルの開発要望が寄せられたことから,搭載機能をVUV平行光によるパターニング機能に限定することで,導入しやすい価格帯を実現したエントリーモデル(将来的にマスクアライメント機能を付加し従来モデルへのバージョンアップも可能)を開発し販売することになったという。

これにより,ウェアラブルセンサー,有機TFTデバイス,バイオデバイス等の研究開発がより広範に,かつ加速することが期待されるとしている。

その他関連ニュース

  • ウシオのEUV光源,量産プロセス向けに初検収 2019年07月17日
  • HOYAの暗所視支援眼鏡,福祉用具の給付対象に 2019年07月09日
  • KDDIのスマートグラス実験,メルカリが参画 2019年06月14日
  • エプソン,スマホ用スマートグラスを発売 2019年05月24日
  • ウシオ,CNF透明シート上へ微細パターニングに成功 2019年05月21日
  • トプコン,スマートグラスで杭打ち作業を効率化 2019年04月10日
  • 東大ら,柔軟なスピントロニクスセンサーで動作計測 2019年04月10日
  • QDレーザ,第三者割当増資で36.6億円調達 2019年04月09日