光響,UVフェムト秒レーザーキットを発売


光響は,少ない加工残渣及びシャープな微細加工を実現する「加工用UVフェムト秒レーザーキット」の販売を開始する(製品ページ)。

同社が販売する「加工用グリーンフェムト秒レーザーキット」の上位機種の位置付けとなる製品。光子エネルギーが大きく,結合部が弱い材料(主として有機物)へ照射すると,分子結合を直接解離する光分解加工ができる。光分解加工は,材料に当たったエネルギーが分解に用いられるので,加工面がシャープに仕上がり,加工残渣が少ないという特徴がある。

2018年ノーベル物理学賞受賞の「チャープパルス増幅(CPA)」を集約した構成で,同社が販売する「小型モード同期Ybファイバーレーザーキット」,「高パルスエネルギー型フェムト秒再生増幅器キット」,「1.0um帯透過型パルスコンプレッサーキット」を用いている。

UV(343nm)の他,第二高調波(515nm),基本波(1030nm)への切り替えにも対応し,最適な波長条件で加工が可能となるという。

この製品の主な特長は以下の通り。
・少ない加工残渣でシャープな微細加工を実現
・基本波(1030nm:IR),第2高調波(514nm:VIS),第3高調波(343nm:UV)の出力が可能
・パルス幅可変(500fs~5ps)
・コンパクト設計(380×620×210mm(W・D・H))
・UV平均出力1W
・高パルスエネルギー20μJ(UV条件時)

この製品の主な用途は以下の通り。
・微細加工,非熱加工,薄膜加工
・透明材料の内部加工,3次元加工
・スクライビング
・フェムト秒レーザー加工
・フェムト秒時間分解分光
・高非線形ファイバーの励起
・OLED及びウエハーの切断

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