ナイトライド,半導体露光用UV-LEDを発売

ナイトライド・セミコンダクターは,半導体露光に有効な指向角の狭い高出力な紫外線(UV-)LED「UV-LED365L-9RXT」を開発・販売開始した(ニュースリリース)。販売時期は5月20日から注文受付,デリバリー開始は6月初旬予定。

環境への影響もあり,水銀を含む紫外線ランプから紫外線LEDへの切り替えに関心が高まっている。従来,紫外線LEDは,コストが高い,光出力が弱いといった理由で置き換えが進んでいなかった。

半導体製造に使用する露光機には水銀を含むUVランプが使用されているが,待機時間が長い,寿命が短い,UV照度の安定性が低い,オンオフによる制御ができないといった機能面での制約に加えて,水銀の製造・貿易の禁止を決議した国連環境計画(UNEP)水俣条約の発効期限2020年を迎え,環境問題からも半導体(LED)光源への切り替えが進むことが期待されている。

露光機専用「UV-LED365L-9RXT」の特長は以下の通り。
1.高効率大出力UV-LEDチップを採用し,省エネ,長寿命
高効率,省エネ,長寿命な波長365nm大面積UV-LEDチップを採用,UV出力3.2W(If:3A,Vf.:4.6V)の大パワーを発揮する。

2.半導体露光に適した狭い指向角で従来の露光機への後付けが可能
正確な露光を行なうためには,平行光が必要だが,一般的にUV-LED光源は指向角が広く(約120°),露光用に取り込む光量が不足する傾向があった。そこで,予め深いリフレクターに紫外線透過率の高いレンズを組み合わせることで,指向角15°以下を実現した。これにより,新しい露光機を購入せず,従来の露光機の光源部をLEDに置き換えるだけで,使用することが可能になった。

3.コンパクト
半導体の露光機用の光源には,通常100個から最大1千個のUV-LEDが必要となり,高密度実装する必要がある。同製品は縦9mm×横9mm×高さ8.5mmと大変コンパクトなので,実装密度を高めることができる。

4.安価
指向角が狭いので光源の開発,特に光学系パーツに掛かるコストを削減できる。量産1万個あたりの単価は約5,000円。

なお,用途は半導体,PCB基板等を製造する露光機用の光源としての使用を想定している。

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