広視野レーザ顕微鏡によるナノ表面形状計測技術

1. はじめに

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機械のしゅう動面や固体の接触面には表面粗さ(微小凹凸)やうねりが存在している。粗さを有する金属同士では,実際に接触するのは肉眼では見えない微小突起同士である。この部分を真実接触部と言い,見かけの接触面積の1/1000程度と言われている。また,接触面全域を見渡すと表面には微小突起よりも大きなうねりがあり,高いうねりの部分で相手面と厳しく接触し,低いうねりの部分では全く非接触になるといった巨視的な片当たりが生じる。

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