製造現場での高分解能観察のための構造化照明顕微鏡

1. はじめに

構造化照明顕微法1)は今世紀に入って国内外で活発に研究開発が行われ,蛍光顕微鏡分野において実用化に至っている2)。この顕微法は,縞模様の空間強度分布を有する構造化照明と観察試料との間のモアレ効果を利用して,光学顕微鏡の回折限界より高い空間周波数の情報を低周波側にシフトさせ,信号処理によって高周波の情報を再現することで,空間分解能を向上させる方法である。観察視野全域に構造化照明が生成可能であり,並列画像処理と組み合わせることにより,高速かつ高分解能な光学顕微観察が実現する。

それゆえ,蛍光生体観察だけでなく,半導体欠陥検査などの工業分野への応用が期待されている。しかしながら,一般的にはレーザ干渉を利用して構造化照明を生成するため,蛍光イメージングにおける影響は少ないが,通常の回折光イメージングおいてはスペックルノイズの影響が大きく,再構成画像処理結果にアーチファクトを発生させるなどの問題があった。この問題を解決するために,SLD(Super Luminescent Diode)を光源とした低コヒーレンス干渉型構造化照明顕微鏡を開発し,低スペックルかつ高分解能なイメージングを実現した3)

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