偏光高速干渉計測を実現するULTRA FAST干渉計“SuperFIZ”

1 はじめに

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今年は,国際光年の輝かしい記念すべき年である。レーザーが科学計測の光源として出現してから,55年である。この間,レーザー光源が,ハイテク産業発展の一翼を担ってきたことは言うまでもない。特に,高精密な光学部品の検査技術の向上は目覚ましく,その技術のみなもとは,1970年代に開発された米国のZYGO社のレーザー干渉計に遡る。この干渉計の出現により,民間企業でも活用できるようになったのである。

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