原理

PGIフリーフォーム

  • 世界で数千台の実績を持つ、PGI(位相干渉格子)方式検出器が広い検出範囲と高い分解能を両立し、高精細な測定を実現
  • これまでの触針式測定機にはない、多数の軸補正を可能にする独自校正アルゴリズムにより自由曲面など複雑形状の測定をより高精度に
  • Y軸・回転軸を備え、1断面だけの2D測定だけではなく自動での3D測定やレンズアレイやウェハレンズなどの自動測定が可能
実績のあるアプリケーション:スマートフォン用レンズ、ウェハ・レベル・オプティクス、VRゴーグル、HUD等多数

LUPHOScan

  • 複数の波長を合成して使用するMWLI(多波長干渉)法により高い精度と広い作動距離・測定範囲を実現
  • 対象サンプルを回転させながらX軸方向に測定する方式により、高速かつスパイラル状に表面全体の情報を得られる真の3D形状測定が可能に
  • アッベの原理に従い、X軸、Z軸、回転軸の3軸にはそれぞれ参照基準ミラーが存在し、3つのプローブが常に位置を校正することで50nm以下の形状測定精度を達成
実績のあるアプリケーション:高精細レンズ(各種4k/8k、SLR)、衛星用光学系、コンタクトレンズ(金型)、防衛関係、VRゴーグル、HUD等多数

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