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3D白色干渉顕微鏡による三次元表面性状測定とその応用

近年の微細加工における精度の向上は目覚ましく,加工部品の表面に仕上げ加工を施し,機能性を付すことで付加価値を高めるプロセスが広く実用化されている。例えば表面加工によって摩擦を低減,または付加することで部品同士の動力伝達を […]
東海光学,ハイパワーNd:YAGレーザ用ミラーなど成膜後の面精度を保証する技術を確立

東海光学,ハイパワーNd:YAGレーザ用ミラーなど成膜後の面精度を保証する技術を確立

東海光学は,ハイパワーNd:YAGレーザ用のガルバノミラーや干渉計測機器向けミラーの成膜後の面精度を保証する技術を確立した。 従来から,基板に膜を成膜すると膜応力によって表面が変形することが知られている。こうした応力によ […]