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3D白色干渉顕微鏡による三次元表面性状測定とその応用

近年の微細加工における精度の向上は目覚ましく,加工部品の表面に仕上げ加工を施し,機能性を付すことで付加価値を高めるプロセスが広く実用化されている。例えば表面加工によって摩擦を低減,または付加することで部品同士の動力伝達を […]

東北大ら,内閣総理大臣賞を受賞

8月26日に東京ビッグサイトで行なわれた第14回産学官連携功労者表彰表彰式において,東北大学国際集積エレクトロニクス研究開発センター センター長 工学研究科教授の遠藤哲郎氏,東京エレクトロン 常務執行役員の鄭基市氏,キー […]