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ギガフォトン,450mmウェハ・マルチパターニング露光装置対応,ArFエキシマレーザ「GT64A」を出荷

ギガフォトン,450mmウェハ・マルチパターニング露光装置対応,ArFエキシマレーザ「GT64A」を出荷

ギガフォトンは,同社の450mmウェハ・マルチパターニング対応液浸露光装置向けArFエキシマレーザ「GT64A」の初号機を露光機メーカへ出荷したと発表した。 世界最高レベルのレーザ発振効率をベースに,450mmウェハ・マ […]