【光フェア】クォークテクノロジー,深紫外LED/エキシマ照射装置を紹介

クォークテクノロジーは「光とレーザーの科学技術フェア2018」にて,深紫外LED照射装置の実機を展示するとともに,面照射型エキシマUV照射装置の紹介を行なっている(ブースNo.A-4 展示会HP)。

紫外線LED照射装置は,樹脂硬化や印刷など様々な用途に応じて最適な波長の製品を提供する。使用するLEDは国産のもので信頼性も高い。280nmの製品では130mW/cm2を達成しているほか,345nmでは500mW/cm2を達成するなどハイパワーを実現している。

また,LEDの置き換えができない172nmの製品として面照射型のエキシマUV照射装置を提供している。これは従来のチューブ型エキシマUV光源と異なり,光源を平面状としてもので,これによりランプとランプの隙間における照度不足を解消することができる。

主に半導体やディスプレーのパターニングの前処理における洗浄や表面改質などで用いられており,ワークサイズはディスプレー向けで第2世代(400mm×70mm(照射長))~第11世代(3200mm×70m(〃))に対応。照度180mW/cm2となっている(OVLシリーズ)。ウエハの形に合わせた円形タイプや方形タイプ(照度80mW/cm2,SPCシリーズ)も用意する。

LEDと同様に瞬時の消灯や点灯が可能。他にも126nmのタイプも用意しており,実験や研究開発用途として実績があるとしている。

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