ライカ,コンタミの解析ソリューションを開発

独ライカマイクロシステムズは,異物混入原因をすばやく解析する清浄度ソリューションを開発した(ニュースリリース)。

このCleanliness Expert(コンタミ解析)ソリューションは,残留異物解析が可能になり,微粒子の検出,計数,分析,異物混入のリスクに基づく分類のほか,同時に粒子の組成を分析することもできる。操作は顕微鏡1台で完結し,異物混入原因の追求時間を最大90%節減できるという。

このソリューションは,Cleanliness Expert ソフトウェアを搭載した「DM6 M」金属顕微鏡とLIBS(Laser Induced Breakdown Spectroscopy:レーザー誘起ブレークダウン分光法)システムを一体化。この2-in-1ソリューションによって,目視検査と化学分析とが1つの装置で実行できる。

さらに,清浄度解析のワークフローを1段階に短縮し,従来の電子顕微鏡(SEM/EDS)などの下流分析に比較して,現場にて迅速な検査が可能になるとしている。

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