ウシオ,CCDと連動する卓上SEMを発売

ウシオ電機は,日本電子(JEOL)製卓上走査電子顕微鏡(卓上SEM)「JCM-7000 NeoScopeTM」の販売を開始した(ニュースリリース)。

卓上SEMは,エレクトロニクスや自動車・機械,化学・薬品を主体とした様々な分野で利用が拡がっており,特に製造現場においてはオンサイトでの微細検査や元素分析のほか,品質管理,製品検査における一次スクリーニングに活用が進んでいるという。

この製品は,ハイスループットでありながら,省スペースかつシンプルで使いやすい操作性を実現。また,光学カラー画像からSEM観察像へのシームレス操作に加え,SEM観察をしながらリアルタイムでの元素分析が可能となる。これにより,光学顕微鏡では困難な組成の異なる異物の検出や透明な物質の表面観察,元素分析を製造現場で実現できるとしている。

この製品の主な特長は以下の通り。
・2軸モーターステージにより,観察したい場所をマウス操作することで,自動的にステージが移動
・色情報を含むCCD画像と表面詳細情報が得られるSEM像が連動する「Zeromag機能」により,素早く快適な視野探しが可能
・2段階のLVモードにより,帯電しやすい試料や,微量の水分を含む試料も,前処理無しで観察可能
・SEM観察中にリアルタイムで元素分析が可能

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