レーザーテック,長寿命LEDレーザースコープ製品化


レーザーテックは,レーザーコンフォーカルと白色コンフォーカルの2つの光学系を融合したハイブリッドレーザーマイクロスコープ「OPTELICS HYBRIDシリーズ」の最新モデルとして「OPTELICS® HYBRID+」を製品化した(ニュースリリース)。

現在,各産業分野において高機能化および微細化と同時にエネルギー資源の有効活用の取り組みが世界規模で加速している。これに伴い,半導体デバイス,金属,樹脂,新素材等,各種材料の技術開発は各分野で一層強化され,顕微観察の分野では,正確かつ迅速なデータ取得と解析が重要な項目となっている。

このような課題に応えるべく,新モデルは長寿命LED光源と高分解能Zスケールを採用。さらに,使いやすさを追求する3つの機能を持つ「計測アシスト機能」を搭載しているという。第一の機能が従来測定者の経験やスキルに依存していた測定方法やパラメータの設定において最適な測定手法をアドバイスする「LMカルテ」,第二の機能がノイズ処理等をはじめとする前処理プロセスのパラメータを装置がアシストする「フィルターアシスト機能」,第三の機能が測定情報からOK品とNG品を識別するための管理項目をアドバイスする「LMアドバイザー」だという。

また,自動検査ソフトに機械学習やディープラーニングを組み込んだ「AI検査」を新規に開発。ノンパターンの基板欠陥検査から,パターン付きデバイス等の欠陥検査へ拡張できるだけでなく,取得した欠陥を分類することができ,検査フィールドでの活躍の場が拡大するとしている。

その他,ウェハー自動搬送をはじめ,測定精度を向上させる新開発の高NA対物レンズ,Xθステージ等のハードウェアオプションと,多様なソフトウェアオプションにより,きめ細かいニーズに対応可能だとしている。

この製品の主な用途は以下のとおり。
・各種材料の観察および形状測定
(半導体材料&デバイス,透明膜,MEMS,コーティング材料,高機能フィルム,無機・有機材料,金属部品,プラスチック加工部品など)

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