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ニコン、光学系再設計でスループット40%向上のデジタル露光装置を来春発売
ニコンは、半導体アドバンストパッケージング向けのデジタル露光装置「DSP-110」を2027年4月に発売すると発表した(ニュースリリース)。解像度1.5µm(L/S)に対応し、光学系の再設計によって、従来機「DSP-10...
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